В России придумали литограф дешевле, чем у ASML.
💻 Точнее говоря, разработали "дорожную карту" по созданию такого литографа. Институт физики микроструктур Российской академии наук предложил уменьшить рабочую длины его волны с 13,5 до 11,2 нм, что снизит затраты как на изготовление вакуумных элементов и систем, и литографа в целом, так и на стоимость эксплуатации. Таким образом он будет дешевле и проще, чем у ASML.
В ИФМ РАН считают, что с экономической точки зрения повторять
проект ASML для России бессмысленно. Уменьшение длины волны приведет увеличению разрешающей способности установки на 20%, это позволит уменьшить габаритные размеры и существенно упростить изготовление зеркал, серьезно удешевить производство объектива. Помимо этого планируется заменить оловянный лазерно-плазменный источник на ксеноновый.
🚫 Как пишет Cnews, при средней мощности лазера 3,6 кВт ожидаемая производительность на длине волны 11,2 нм будет меньше примерно в 2,7 раза, чем у ASML-литографа. Но для фабрик, у которых рынок продукции меньше, чем у 5-топ компаний, этой величины вполне достаточно. Реализовывать концепцию предлагают в три этапа, в итоге на втором появится
литограф с производительностью более 60 пластин 200 мм в час, а на третьем - с производительностью более 60 пластин 300 мм в час.
