group-telegram.com/lithography1mm/68
Last Update:
Минпромторг заказал разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем (ИС) с топологическими нормами до 65 нм
Соответствующий тендер был опубликован на портале госзакупок в ноябре 2024 г.
Разрабатываемый комплект предназначен для замены лазеров модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 10780F производства американской фирмы Keysight в зарубежном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании
Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах
Помимо этого, комплект заменят в оптических установках контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах
И еще он будет стоять в установках контроля дефектности на полупроводниковых пластинах AMAT Compass, лазерного устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах и установки электронно-лучевой литографии, отмечается в техзадании
Комплектующие изделия и материалы должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей. Работы выполняются в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации»
BY Литография в домашних условиях
Share with your friend now:
group-telegram.com/lithography1mm/68